دینامیک دستگاه پلاسمای کانونی……………………………………………….. 12

عملکرد پلاسمای کانونی………………………………………………………….. 14

فاز شکست……………………………………………………………………………. 15

فاز رانش محوری………………………………………………………………… 16

فاز شعاعی…………………………………………………………………………. 17

1- فاز تراکم……………………………………………………………………………. 18

2- فاز ساکن………………………………………………………………………… 21

3- فاز ناپایداری……………………………………………………………………… 22

4- فاز فروپاشی…………………………………………………………… 23

عوامل مؤثر در کارآیی سیستم‌های پلاسمای کانونی…………………….. 24

پرتوهای ساطع شده از سیستم پلاسمای کانونی……………………… 26

پرتو ایکس……………………………………………………………………………. 26

تولید نوترون………………………………………………………………………… 27

تولید یون…………………………………………………………………………….. 28

فصل دوم: برخی روش‌های لایه‌نشانی و دستگاه‌های آنالیز فیلم‌های نازک لایه‌نشانی شده

2-1- برخی روش‌های لایه نشانی…………………………………………………. 31

2-1-1- کندوپاش…………………………………………………………………… 31

2-1-2- کندوپاش به‌وسیله پلاسما ……………………………………………………. 32

2-1-3- کندوپاش پرتو یونی…………………………………………………………… 32

2-1-4- روش تبخیر فیزیکی (PVD) ……………………………………………… 33

2-1-5- روش تبخیر شیمیایی (CVD)………………………………………………. 33

2-1-6- روش تبخیر گرمایی………………………………………………………….. 33

2-1-7- لایه‌نشانی به‌وسیله پلاسمای کانونی………………………………………. 37

2-2- برخی دستگاه‌های آنالیز جهت بررسی فیلم‌های نازک لایه‌نشانی شده……… 40

2-2-1- میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)…………………………………….. 40

الکترون‌های بازگشتی…………………………………………………………………… 41

الکترون‌های ثانویه……………………………………………………………………….. 41

الکترون‌های اوژه………………………………………………………………………….. 42

2-2-2- میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)………………………………………………. 42

2-2-3- دستگاه پراش پرتوی ایکس (XRD)………………………………………. 43

فصل سوم: برخی تحقیقات انجام شده جهت لایه‌نشانی توسط دستگاه پلاسمای کانونی

3-1- تشکیل کربیدتیتانیوم (TiC) برروی لایه تیتانیوم از طریق کاشت یون…………. 48

3-2- تشکیل کربید سیلیکون برروی زیرلایه سیلیسیوم از طریق کاشت یون……. 50

3-3- تأثیر تابش پالس‌های یونی پرانرژی برروی زیرلایه سیلیسیوم………………… 54

3-4- بهینه‌سازی دستگاه پلاسمای کانونی به‌عنوان منبع پرتوی الکترونی برای لایه‌نشانی فیلم‌های نازک…..57

3-5- نیتریده‌سازی به کمک دستگاه پلاسمای کانونی…………………………….. 60

یک مطلب دیگر :

3-6- لایه‌نشانی نانولایه‌ها بوله دستگاه پلاسمای کانونی…………………………. 70

فصل چهارم: روش تحقیق و نتیجه‌گیری

4-1- معرفی دستگاه پلاسمای کانونی مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما………………. 75

4-2- فرآیند تولید لایه‌های نازک نیترید آلومینیوم با استفاده از دستگاه پلاسمای کانونی…. 75

4-2-1- آماده‌سازی و تمیزکاری زیرلایه‌های استیل 304…………………………. 75

4-2-1- نحوه انجام آزمایش …………………………………………………………. 76

چیدمان آزمایش جهت لایه نشانی نیترید آلومینیوم…………………………….. 77

متغیرهای مورد بررسی، در لایه‌نشانی نیترید آلومینیوم………………………. 77

آنالیزهای صورت گرفته برروی فیلم‌های لایه‌نشانی شده……………………… 77

آنالیز لایه‌های نازک نیترید آلومینیوم تولید شده، با استفاده از دستگاه پراش اشعه ایکس….. 78

آنالیز لایه‌های نازک نیترید آلومینیوم تولید شده، با استفاده از دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی…82

نتایج AFM……………………………………………………………………

آنالیز لایه‌های نازک نیترید آلومینیوم تولید شده، با استفاده از دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی…..87

نتیجه‌گیری…………………………………………………………………………………… 90

برخی پیشنهادات تحقیقاتی………………………………………………………………. 90

چکیده:

لایه‌های نازک نیترید آلومینیوم بر روی زیرلایه‌های استیل 304

شرایط آزمایش: زوایای مختلف نسبت به محور آند (0، 15 و 30) در فاصله cm5 نسبت به نوک آند با استفاده از تعداد 25 شات

آنالیزها: XRD ، AFM ، SEM

در این تحقیق، لایه های نازك نیترید آلومینیوم بر روی زیرلایه های استیل 304 با استفاده از دستگاه پلاسمای كانونی پوشش داده شده است. پس از تولید لایه های نازك، نمونه ها به منظور بررسی خصوصیات لایه، به وسیله دستگاه پراش پرتو ایكس، میكروسكوپ های الكترونی روبشی و نیروی اتمی مورد مطالعه قرار گرفتند.

نتایج تحقیق نشان می دهد كه تغییر تعداد شات ها، فاصله زیرلایه ها از نوك آند و همچنین زاویه قرار گرفتن زیرلایه ها نسبت به محور آند، نقش مهمی در خصوصیات لایه های تولید شده دارند.

نمونه های بدست آمده در زوایای مختلف نسبت  به محور آند (0، 15 و 30) در فاصله 5 سانتی‌متر از نوک آند و با استفاده از تعداد 25 شات نشان می‌دهد که با افزایش زاویه از صفر به 15 و سپس 30، شاهد کاهش بلورینگی، فیلم‌های لایه نشانی شده هستیم. نتایج حاصل از بررسی مورفولوژی سطح فیلم‌های لایه‌نشانی شده در زاوایای مختلف نسبت به نحور آند توسط میکروسکوپ نیروی اتمی نشان می‌دهند که نمونه لایه‌نشانی شده در زاویه °15 دارای سطحی نسبتاً یکنواخت متشکل از دانه‌هایی در اندازه‌های نسبتاً یکسان می‌باشد.

فصل اول: معرفی دستگاه پلاسمای کانونی

مقدمه:

اگر چه نمی توان منکر استفاده از انرژی های تجدید ناپذیر از قبیل انرژی باد، خورشید و … شد، اما نمی توان غول صنعت را فقط با انرژی های تجدید ناپذیر سیر کرد. بعلاوه منابع اولیه انرژی های شناخته شده در روی کره زمین فقط برای پانصد سال کفایت خواهد کرد و وسایل زیست محیطی چنان دست و پای بشر را بسته است که متخصصان امر، همین پانصد سال را نیز ناشدنی می پندارند و بنابراین باید در جستجوی منبع انرژی دیگری بود.